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吴德馨出生于1936年12月，籍贯河北乐亭。她于1961年自清华大学无线电电子工程系毕业，成为该校首届半导体方向的毕业生。随后她加入中国科学院半导体研究所，并于1986年转至中国科学院微电子中心（后更名为微电子研究所）。她在1991年获选为中国科学院院士。